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MEMS传感器

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  • ZM03酒精传感器利用MEMS工艺在Si基衬底上制作微热板,所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化…

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  • 数字MEMS燃气传感器由基于MEMS工艺的Si基微热板和在洁净空气中电导率较低的金属氧化物半导体气敏材料组成●!

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  • ZM01 VOC传感器利用MEMS工艺在Si基衬底上制作微热板,所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属…

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  • MEMS 氨气气体传感器利用MEMS工艺的Si基微热板和在洁净空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料组成。当环…

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  • MEMS 一氧化碳/氢气传感器由基于MEMS工艺的Si基微热板和在洁净空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料组…

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  • MEMS 口气气体传感器利用MEMS工艺在Si基衬底上制作微热板,所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金…

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  • 室内空气质量监测,室内烟雾报警等

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  • 灵敏度高、响应恢复快、寿命长

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  • MEMS 酒精气体传感器利用MEMS工艺的Si基微热板和在洁净空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料组成。当环…

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  • MEMS 二氧化氮气体传感器利用MEMS工艺在Si基衬底上制作微热板,所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低…

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